| 媒体と使用条件 | 温度帯 | この区分の上位 3 材種 |
|---|---|---|
| スパッタリングターゲット | 常温 | Ta193W192Mo190 |
| ベーキング ≥ 500 °C | Ta193W192Mo190 | |
| 真空エレクトロニクス | ≤ 400 °C | TU1954J2992Mo190 |
| 400 – 900 °C | Mo190W188Ta186 | |
| 高温用ボート・治具 | 800 – 1200 °C | Mo194W192TZM90 |
| 1200 – 1600 °C | W192Mo190TZM90 | |
| プロセスチャンバ・ライナー | ≤ 400 °C | TA290TA188N0662586 |
| 400 – 700 °C | N0662582N1027678TA274 | |
| ヒーター・サセプタ | ≤ 500 °C | Mo192TZM90W188 |
| 500 – 900 °C | TZM90W188Mo186 | |
| リードフレーム・パッケージ | ≤ 300 °C | TU1924J42914J2989 |
| リフロー 300～450 °C | 4J42914J2989Mo186 | |
| 特殊ガス配管 | ≤ 120 °C | TA292TA190N688 |
| 120 – 300 °C | TA289TA187N686 | |
| 磁気シールド・軟磁性部品 | ≤ 120 °C | 1J85951J79931J5085 |
| 計測・精密構造物 | 管理温度 20 °C | 4J32944J36903J5386 |
スコアは候補を絞り込むための相対的な適性評価です。最終的な選定は、実際の濃度、分圧、流速、規格要求に照らして確認する必要があります。
使用条件をお知らせください
当社のエンジニアが 24 時間以内に、材料のアドバイスとお見積りをお返しします。