Kochlin SONDERLEGIERUNGEN · SEIT 2009
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Werkstoffauswahl: Halbleiter & Vakuumelektronik

Wir gliedern diese Branche in 9 konkrete Einsatzfälle, jeweils mit eigenen Temperaturbereichen und einer Rangfolge der Werkstoffe – keine pauschale Werkstofftabelle.

Werkstoffauswahl öffnen – nach Eignung für Ihren Einsatzfall geordnet

Medium & EinsatzfallTemperaturbereich Die drei besten Werkstoffe für diesen Bereich
Sputtertargets Raumtemperatur Ta193W192Mo190
Ausheizen ≥ 500 °C Ta193W192Mo190
Vakuumelektronik ≤ 400 °C CW008A951.398192Mo190
400 – 900 °C Mo190W188Ta186
Hochtemperatur-Schiffchen & -Gestelle 800 – 1200 °C Mo194W192TZM90
1200 – 1600 °C W192Mo190TZM90
Prozesskammern & Auskleidungen ≤ 400 °C 3.7035903.7025882.485686
400 – 700 °C 2.4856822.4819783.703574
Heizer & Suszeptoren ≤ 500 °C Mo192TZM90W188
500 – 900 °C TZM90W188Mo186
Leadframes & Packaging ≤ 300 °C CW008A921.3917911.398189
Reflow 300 – 450 °C 1.3917911.398189Mo186
Spezialgasleitungen ≤ 120 °C 3.7035923.7025902.406688
120 – 300 °C 3.7035893.7025872.406686
Magnetische Abschirmung & weichmagnetische Teile ≤ 120 °C 1J85951J79931J5085
Messtechnik & Präzisionsstrukturen Geregelt 20 °C 4J32941.3912903J5386

Die Punkte sind relative Eignungsbewertungen zur Eingrenzung der Vorauswahl; die endgültige Auswahl ist anhand der tatsächlichen Konzentrationen, Partialdrücke, Strömungsgeschwindigkeiten und Regelwerksanforderungen zu bestätigen.

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